10月16日，山东有研艾斯 12英寸集成电路用大硅片产业化项目通线量产仪式在德州天衢新区举行，该项目一期投资 25亿元， 达产后可实现 12英寸抛光片月产10 万片，是中国有研布局的重 点项目，也是山东省内第一条 12英寸集成电路用大硅片生产线。

硅片即“晶圆”，是制造芯片的关键材料，相当于芯片的“地基”。12英寸硅片的面积是8英寸的2.25倍，可使用率是 8英寸 的2.5倍左右，单片可产出的芯片数量增加，经济效益明显，随着集成电路制程和工艺的发展，硅片趋向大尺寸化和制程精细化，12英寸硅片为当前及未来较长时间内的主流产品。

“我们是山东省内唯一一家生产12英寸大硅片的企业。对于我们来说，此次12 英寸集成电路生产线通线量产意义非凡。”山东有研艾斯总经理闫志瑞介绍，12英寸硅片技术参数要求比8英寸更高，各工艺环节需要长期积累，其中单晶工艺是最为核心的技术，其决定了硅片尺寸、电阻率、纯度、氧含量、位错、晶体缺陷，山东有研艾斯攻克了单晶微缺陷、硅片几何尺寸、硅片表面沾污等关键技术指标，已在多家国内外知名集成电路制造企业开展产品验证。12英寸硅片全部达产后将形成360万片/年大硅片的生产规模，彻底改变我国依赖进口的局面。

目前，德州天衢新区依托中国有研“集成电路关键材料国家工程研究中心”，打造了占地 800 余亩，总投资 93.4 亿元的中国 集成电路关键材料(德州)基地，包括 8 英寸、12英寸硅片、高 纯溅射靶材、刻蚀设备用硅材料等七个项目。全部达产后将形成 年产6英寸硅片180万片、8 英寸硅片 276万片、12英寸硅片 360万片、12-18英寸硅单晶504吨、高纯溅射靶材4.3万块、高纯 贵金属 213吨，将成为北方最大的集成电路用大硅片生产基地， 使山东省跻身硅材料产业国内第一方阵、靶材产业遥遥领先。

据悉，目前德州共有电子信息产业规模以上企业123家，今年1—6月实现销售收入145.47亿元，同比增长4.06%。7月省工信厅公布2023年度山东省特色产业集群名单，德州3家产业集群入选，天衢新区电子信息特色产业集群首次上榜。目前天衢新区集群电子信息企业数量达到120余家，年营收达106亿元。

“在产业链条延伸、产业创新平台支撑方面，德州电子信息产业发展还有很大潜力。将大力推进产业链、供应链、创新链、金融链融合，全力打造全国重要的集成电路关键材料基地、半导体行业一线城市、新一代信息技术产业发展高地、数字经济发展高地，真正把新一代信息技术产业锻造成为德州地标产业。”德州市集成电路(数字经济核心产业)产业发展促进中心主任褚士强说。